更新時(shí)間:2024-12-03
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廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址:
品牌 | HONDA/本多電子 | 類型 | 超聲波清洗機(jī) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子,綜合 |
優(yōu)勢品牌HONDA本多石英振動(dòng)體清洗機(jī)
下一代清洗技術(shù),實(shí)現(xiàn)低損害和高清潔度
2006年,一臺(tái)石英振動(dòng)體超聲清洗裝置投入實(shí)際使用。
在這種方法中,通過在石英振動(dòng)體上疊加超聲波對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行清洗。
與批量清洗和流水清洗相比,可以減少化學(xué)品的使用量,由于只有石英玻璃與液體接觸,沒有墊片等橡膠材料與液體接觸,因此能保持較高的清潔度。
石英振動(dòng)體有不同的形狀,以適應(yīng)不同的用途,能夠根據(jù)需要進(jìn)行有效的清洗,如低損傷清洗、大面積清洗、斜面(邊緣表面)和缺口(晶圓邊緣表面的缺口)的清洗等。
對(duì)具有細(xì)微結(jié)構(gòu)的晶片進(jìn)行低損傷清洗
■通過在石英振動(dòng)元件上疊加超聲波對(duì)半導(dǎo)體晶片進(jìn)行清洗。
將超聲波振動(dòng)從石英振動(dòng)元件通過化學(xué)溶液傳播到半導(dǎo)體晶片上,接觸區(qū)的化學(xué)溶液振動(dòng),加速去除表面污染。
■清潔度高,對(duì)半導(dǎo)體晶圓的損害最小。
與使用橡膠材料(如墊片)的設(shè)備相比,使用石英與化學(xué)溶液接觸,可以確保清潔,而不會(huì)有橡膠溶出。
■震蕩器冷卻功能通過用氣體(如氮?dú)猓├鋮s震蕩器,可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)工作,沒有頻率波動(dòng)。
冷卻還能確保沒有溫度的突然變化,從而延長使用壽命。
■發(fā)振器
類型 | W-357-1MQG-SKC |
振蕩模式 | 單頻震蕩 |
額定輸出 | 12W |
標(biāo)稱震蕩頻率 | 1MHz |
電源輸入 | AC100V~240V 單相50/60Hz 300VA |
外部尺寸 WxDxHmm | 180×250×100 (不包括凸出部分,包括橡膠腳) |
質(zhì)量 | 2.2kg |
●可變的輸出范圍:0W到12W(振動(dòng)體的允許輸入:當(dāng)使用空氣吹掃冷卻時(shí),連續(xù)10W)。
●周圍操作環(huán)境:溫度:15至35℃,濕度:10至85%。
●外部驅(qū)動(dòng)觸點(diǎn)額定值:超聲波振蕩控制(控制側(cè))觸點(diǎn)輸入:12 V DC 16 mA min.
報(bào)警輸出(主單元)觸點(diǎn)容量:24 V DC 0.5 A
■附屬電纜:電源線(100V為2米/200V為3米),控制線(5米)x4
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