更新時間:2024-12-03
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廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
生產(chǎn)地址:
品牌 | SIMCO | 供貨周期 | 現(xiàn)貨 |
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日本SIMCO思美高負(fù)離子器
Simco-Ion 的 AeroBar 5635 調(diào)制脈沖電離棒專為消除半導(dǎo)體和其他需要快速放電時間、低擺幅電壓和精密平衡的超潔凈制造工藝中的靜電荷而設(shè)計(jì)。5635 型采用 MP 技術(shù),將高頻正弦波與調(diào)制脈沖 (MP) 相結(jié)合,以實(shí)現(xiàn)高離子輸出和傳輸。這項(xiàng)突破性技術(shù)使 AeroBar 能夠安裝在晶圓 150 mm 以內(nèi)。MP 技術(shù)與超潔凈硅發(fā)射點(diǎn)和精密調(diào)節(jié)相結(jié)合,可提供 ISO 14644-12 電離(0.01 μm 顆粒或納米顆粒)和 ISO 14644 1 級(0.1 μm 顆粒)清潔度,這對于較小的技術(shù)節(jié)點(diǎn)至關(guān)重要。
擴(kuò)展 ISO 1 級 (10 nm) 顆粒 清潔
調(diào)制脈沖技術(shù)
出色的橫向均勻性
低場電壓
空氣輔助功能
可選軟件,界面易于使用,可調(diào)節(jié)性廣
報(bào)警輸出信號
電壓 | 輸入:24 VDC ±10% 功率輸入 RJ-45;0.7A(最大值) 輸出:13.5 kV p-p(最大值),可調(diào) |
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放電 | 15 秒內(nèi) ±1000-100V(典型值),無空氣輔助,發(fā)射極中心點(diǎn)組下方 24“ 處 Vp-p 擺動為 80 |
平衡 | <±35V 在受控環(huán)境中以 18“ 距離測量 |
離子發(fā)射 | 調(diào)制脈沖 (MP) 技術(shù) |
發(fā)射 | ISO 14644-1 1 類單晶硅 |
潔凈室類 | ISO 14644-1(0.1 μm 顆粒)和擴(kuò)展的 ISO 1 級清潔度(10 nm 顆粒或納米顆粒),使用 45-50% 輸出電壓設(shè)置和帶有單晶硅發(fā)射器的 OpenJet 噴嘴 |
尺寸 | 3.1 英寸(高)x 1.3 英寸(寬)x 17.7 / 23.6 / 33.5 / 39.3 / 45.3 / 51.2 / 57.1 / 63.0 / 69.0 / 74.8 / 80.7 / 86.6 / 92.5 英寸長(7.8 x 3.4 x 45 / 60 / 85 / 100 / 115 / 130 / 145 / 160 / 175 / 190 / 205 / 220 / 235 厘米) |